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氮?dú)夂嫦洌偌墲崈艉嫦湓诠饪誊浐婵竟に囎⒁馐马?xiàng)有哪些?

更新時(shí)間:2023-10-07   點(diǎn)擊次數(shù):938次

光刻加工中涂布后,所得的抗蝕劑膜將包含20-40%重量的溶劑。后涂覆烘烤工藝,也稱為軟烘烤或預(yù)烘烤,涉及在旋涂之后通過除去該過量溶劑來干燥光致抗蝕劑。減少溶劑含量的主要原因是使抗蝕劑膜穩(wěn)定。

    在室溫下,光刻加工未烘烤的光致抗蝕劑膜將通過蒸發(fā)而損失溶劑,從而隨時(shí)間改變膜的性能。通過烘烤抗蝕劑,去除了大部分溶劑,并且該膜在室溫下變得穩(wěn)定。從光致抗蝕劑膜上去除溶劑有四個(gè)主要效果:(1)減小膜的厚度;(2)曝光后烘烤并改變顯影性能;(3)改善粘合性;(4)膜的粘性降低因此不易受到微粒污染的影響。

氮?dú)夂嫦洌偌墲崈艉嫦?/span>用途:

    潔凈烘箱,百級無塵烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門;也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

氮?dú)夂嫦洌偌墲崈艉嫦?/span>技術(shù)參數(shù):

無塵等級:Class100;     

溫度范圍:RT~200/450℃;      

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×500

600×700×800(可定制)        

氮?dú)夂嫦洌偌墲崈艉嫦?/span>可擴(kuò)展功能:

氧濃度檢測,無塵無氧烘箱

真空無氧烘箱

智能聯(lián)網(wǎng)功能,MES等工業(yè)自動(dòng)化軟件

掃碼槍,掃碼溯源,一鍵讀取

自動(dòng)門控,上位機(jī)程控,機(jī)械手搬運(yùn)產(chǎn)品



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