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    六箱體氮氣烘箱，多倉式潔凈烘箱選配功能： 輔助降溫：水冷、風冷降溫 操作界面：人機界面+PLC,工控電腦 錄入信息：掃碼槍 監測功能：氧含量分析儀等
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    前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱優化光刻膠的光學吸收特性，提高光刻膠對襯底的黏附性
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    class100高溫潔凈烘箱，程控式無塵烤箱采用液晶觸摸屏溫度控制器，內置曲線查詢、PID自整定、高溫上限報警、運行方式：定值、程式，中、英文操作。
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