

智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開)延長了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中, 可根據(jù)需要使用,不會額外增加泵的高度。
智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵說明
IDP-10 渦旋式干泵是一款緊湊、高性能的無油真空泵,易于維護(hù)。在世 界各地不同的頻率和輸入電壓下,變頻驅(qū)動電機(jī)均可提供均一的真空性能。
密封設(shè)計(電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開)延長了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中, 可根據(jù)需要使用,不會額外增加泵的高度。
智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵技術(shù)性能
最高抽速 全速條件下 170 L/min (10.2 m3/h)
介質(zhì)  | 氣體  | 
極限壓力  | 2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)  | 
最大入口壓力  | 1.0 個大氣壓 (0 psig)  | 
推薦的最大連續(xù)入口壓力  | 2.0 × 10-2 mbar (1.5 × 10-2 Torr)  | 
標(biāo)稱電壓下最大出口壓力  | 1.34 個大氣壓 (5 psig)  | 
入口連接  | NW25  | 
排氣口連接  | NW16  | 
氣鎮(zhèn)  | 0.25 英寸美國標(biāo)準(zhǔn)管內(nèi)螺紋(提供 20 µm燒結(jié)插頭)  | 
SAE-2 5/16-24  | |
根據(jù) Pneurop 6602 處理水蒸氣  | 最大 120 g/h  | 
運(yùn)行環(huán)境溫度  | 5-40 °C (41-104 °F)  | 
儲存溫度  | –20-60 °C (–4-140 °F)  | 
馬達(dá)額定功率  | 0.5 HP (350 W); 3? 變頻驅(qū)動  | 
工作電壓  | 100-127; 200-240 VAC, 50/60 Hz  | 
馬達(dá)熱保護(hù)  | 自動熱保護(hù)  | 
工作速度  | 63.33 Hz: 1900 rpm; 45 Hz: 1350 rpm  | 
冷卻系統(tǒng)  | 風(fēng)冷  | 
重量  | 僅泵: 24.74 kg (54.5 磅),運(yùn)輸重量: 28.1 kg (62 磅)  | 
尺寸(高 × 寬 × 長 (mm))  | 297 × 260 × 420  | 
泄漏速度(密封排氣口時)  | < 1 × 10-6 sccs (1 × 10-6 mbar.l/s)  | 
噪音水平  | 53 +/- 2 dB (A)  | 
入口處振動水平  | 7 mms-1 rms  | 
計時器  | 提供一體式計時器  | 
輻射與抗擾性  | EN 61236-1:2013,屬 A 類設(shè)備  | 
安全性  | 通過 EN/IEC 61010 第 3 版認(rèn)證  | 
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,降低了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。適用于硅片、砷化鎵、陶瓷、不銹鋼、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料預(yù)處理及相關(guān)行業(yè)。