

真空固化烤箱,防氧化真空系統(tǒng)用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火,PR膠排膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè),適用于工廠、高等院校、科研等場(chǎng)所。
一、真空固化烤箱,防氧化真空系統(tǒng)用途
無(wú)氧真空系統(tǒng)用于鍵合前鍵合材料的真空處理 、ITO膜退火,PR膠排膠固化等工藝。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、電子產(chǎn)品、醫(yī)療衛(wèi)生等行業(yè),適用于工廠、高等院校、科研等場(chǎng)所。
二、真空固化烤箱,防氧化真空系統(tǒng)技術(shù)性能參數(shù)
1、設(shè)備名稱:  | |
名稱  | 無(wú)氧真空系統(tǒng)  | 
2、設(shè)備型號(hào):  | |
型號(hào)  | JS-GYZF系列  | 
3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù):  | |
3.1 工作室尺寸  | 450×450×450,600×600×600(mm)  | 
3.2 材質(zhì)  | 內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼,外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板靜電噴塑  | 
3.3 溫度范圍  | RT+10-300/450℃  | 
3.4 溫度分辨率  | 0.1℃  | 
3.5 溫度波動(dòng)度  | ≤±1℃  | 
3.6 溫度均勻度  | ≤2%MFS  | 
3.7 升溫速率  | ≤10℃/min  | 
3.8 降溫速率  | 特殊要求數(shù)據(jù)  | 
3.9 真空度  | ≤133pa或要求數(shù)據(jù)  | 
3.10 電源及總功率  | AC220V、 380V±10% / 50HZ  | 
3.11 溫度控制儀表  | 可編程觸摸屏儀表,可校準(zhǔn)溫度,PID自整定等功能  | 
3.12擱板層數(shù)  | 316L不銹鋼托盤(pán)2層,配有限位裝置  | 
3.13真空泵  | 油泵/干泵  | 
3.14 腔門(mén)密封圈  | 采用耐高溫硅橡膠密封圈  | 
3.15 狀態(tài)指示燈  | 配有三色指示燈及蜂鳴器來(lái)提示機(jī)臺(tái)運(yùn)行狀態(tài)  | 
3.16 氧含量  | 特殊要求數(shù)據(jù)  | 
3.17 潔凈度  | Class100、1000級(jí)  | 
3.18 降溫系統(tǒng)  | 選配  | 
3.19 氮?dú)饪刂?/p>  | 工藝要求  | 
3.20 安全保護(hù)裝置  | 安全的接地保護(hù)裝置,超溫保護(hù)及報(bào)警裝置,漏電保護(hù)裝置。  |