

可編程潔凈烘箱,程序無塵烘箱應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.
 可編程潔凈烘箱,程序無塵烘箱用途及執行標準  | ||
 制造標準  | 本產品是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及國家相關標準研究制造。  | |
2、產品用途  | 主要應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求。  | |
3、適用行業  | 應用于精密電子元件、PI、BCB膠高溫固化烘烤、光刻膠固化、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求,適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.  | |
可編程潔凈烘箱,程序無塵烘箱技 術 性 能 參 數  | ||
1、設備名稱  | 高溫無塵無氧烤箱  | |
2、設備型號  | JS-MOA130-1F  | |
3、主要技術參數  | ||
3.1 工作室尺寸  | 450×450×650mm(W×D×H)  | |
3.2 材質  | 外箱采用優質冷軋板噴塑,內箱采用SUS/304不銹鋼  | |
3.3 溫度范圍  | RT+10-450℃,使用溫度≤380℃  | |
3.4 溫度分辨率  | 0.1℃  | |
3.5 溫度波動度  | <±1℃  | |
3.6 溫度均勻度  | ≤±2%  | |
3.7 潔凈度  | class 100,設備采用無塵材料,適用100級光刻間凈化環境  | |
3.8電源及總功率  | AC 380V±10% / 50HZ 總功率約11.0KW  | |
3.9 升溫時間  | 每分鐘5度,全程平均(空箱測試)  | |
3.10降溫時間  | 降溫方式:水冷+風冷,300℃-90℃降溫時間約為1小時(空箱測試)  | |
3.11氧含量 
  |  高溫狀態氧含量:≤ 20ppm +氣源氧含量  | |
3.12 數據輸出  | 六通道溫度檢測記錄儀  | |
潔凈烘箱,百級潔凈烤箱用途:
     潔凈烘箱,百級潔凈烤箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤;也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門;也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
潔凈烘箱,百級潔凈烤箱特點:
1.在普通環境下使用,能夠確保烘箱內部等級達到Class 100;
2.全周氬焊,耐高溫硅膠破緊,SUS304#不銹鋼電熱生產器,防機臺本身所產生微塵;
3.采平面水平由后向前送風熱風循環系統,風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器,將熱風由風道送至烤箱內部,且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱,省電節能溫度均勻性好,過濾效率99.99%,Class 100;
4.強制送風循環方式。雙風道循環結構,溫度場分布均勻,智能P.I.D溫控系統,得到溫度控制精度。
潔凈烘箱,百級潔凈烤箱產品技術參數:
1.主要技術指標:
   無塵等級:Class 100;     
 溫度范圍:RT+10~200℃;
   溫度均勻度:±2℃;    
 溫度波動度:±0.5℃(空載)        
   溫控精度:±0.1℃;        
 工作室尺寸:W800×D800×H1000(mm)         
   電源:380v , 50Hz,20KW     
網板:2塊(高度可調節)