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  • 墨點(diǎn)烘箱，墨點(diǎn)氮?dú)夂嫦?工業(yè)烘箱
    墨點(diǎn)烘箱，墨點(diǎn)氮?dú)夂嫦涫前雽?dǎo)體行業(yè)，芯片加工工藝流程中打墨點(diǎn)工藝后，將硅片放入烘箱進(jìn)行墨點(diǎn)烘干專用設(shè)備。
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  • 堅(jiān)膜烘箱，氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱 工業(yè)烘箱
    堅(jiān)膜烘箱，氮?dú)鈭?jiān)膜烤箱的作用是在一定的溫度下,對(duì)顯影后的襯底進(jìn)行烘焙。這將使光刻膠的表面在表面張力的作用下而圓滑化,并使光刻膠層中的缺陷(如針孑L)因光刻膠表面的圓滑化而減少,并可借此修正光刻膠圖形的邊緣輪廓。
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  • 無氧固化爐,高溫?zé)o氧化固化烤箱 工業(yè)烘箱
    無氧固化爐,高溫?zé)o氧化固化烤箱應(yīng)用半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于PI/CPI固化，BCB固化，PBO固化，LCP纖維熱處理。
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  • 雙腔無氧烤箱，兩箱無氧烘箱 工業(yè)烘箱
    雙腔無氧烤箱，兩箱無氧烘箱單腔內(nèi)尺寸：W450×D450×H450，上下層兩個(gè)腔體，可定制其他尺寸，多腔體
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  • 鈮酸鋰無氧化烘箱 工業(yè)烘箱
    鈮酸鋰無氧化烘箱用于半導(dǎo)體晶片、半導(dǎo)體封裝和MEMS器件的批量生產(chǎn)。主要用于聚酰亞胺PI膠、CPI膠、BCB膠固化、低K電介質(zhì)固化，LCP材料熱處理、鍵合材料預(yù)處理，F(xiàn)OWLP扇出封裝，ITO膜/鋁/銅退火，PBO膠固化等特殊工藝。
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