HMDS預處理系統的必要性：在半導體生產工藝中，光刻是至關重要的一個工藝環節，而涂膠工藝的好壞，直接影響到光刻的質量。涂膠工藝中的一種叫Hexamethyldisilazane(HMDS)化學制劑，化學名稱叫六甲基二硅氮 甲烷，即HMDS。把它涂到硅片表面后，通過加溫可反應生成以硅氧烷為主題的起表面活性劑作用的化合物，它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起到耦合的作用。在顯影的過程中，增強了光刻膠與基底的粘附力，從而有效地抑制刻蝕液進入掩模與基底的側向刻蝕。但隨著光刻線條的越來越細，膠的越來越薄，對粘附力提出了更高的要求，于是我們研制出了現在的HMDS烘箱。
HMDS預處理系統的優點：
1、預處理性能更 好，由于是在經過數次的氮氣置換再進行的HMDS處理，所以不會有塵埃的干擾，再者，由于該系統是將"去水烘烤"和HMDS處理放在同一道工藝，同一個容器中進行，晶片在容器里先經過100℃-200℃的去水烘烤，再接著進行HMDS處理，不需要從容器里傳出，而接觸到大氣，晶片吸收水分子的機會大大降低，所以有著更 好的處理效果等。
2、處理更加均勻。由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上，所以有液態涂布不可比擬更 好的均勻性。
3、效率高。液態涂布是單片操作，而本系統一次可以處理多達4盒的晶片。
4、更加節省藥液。實踐證明，用液態HMDS涂布單片所用的藥液比用本系統處理4盒晶片所用藥液還多;
5、更加環保和安全，HMDS是有毒化學藥品，人吸入后會出現反胃、嘔吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等，由于整個過程是在密閉的環境下完成的，所以不會有人接觸到藥液及其蒸汽，也就更加安全，它的尾氣是直接由機械泵抽到尾氣處理機，所以也不會對環境造成污染。
更新時間：2020-09-17 
瀏覽次數：2989
技術文章
我的位置：