HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）使用范圍

更新時(shí)間：2022-02-12

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HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）用途：

HMDS Coater是通過(guò)對(duì)箱體內(nèi)預(yù)處理過(guò)程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）技術(shù)指標(biāo)：

1、設(shè)備名稱	HMDS Coater（HMDS 涂布機(jī)）
2、設(shè)備型號(hào)	JS-HMDS90-AI/MES
3、設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
3.1 尺寸（*深寬高*）	內(nèi)腔尺寸：350×350×350/450×450×450（mm）可定制
3.2 材質(zhì)	外箱采用優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑，內(nèi)箱采用316L醫(yī)用級(jí)不銹鋼
3.3 溫度使用范圍	80-200℃
3.4 溫度分辨率	0.1℃
3.5 溫度波動(dòng)度	≤±0.5
3.6 真空度	≤133pa（1torr）
3.7 潔凈度	設(shè)備采用無(wú)塵材料，適用100級(jí)光刻間凈化環(huán)境
3.8電源及總功率	AC 220V±10% / 50HZ 總功率約3.5KW
3.9 控制儀表	人機(jī)界面
3.10擱板層數(shù)	2層
3.11 HMDS控制	可控制HMDS藥液添加量
3.12真空泵	無(wú)油渦旋真空泵
3.13 保護(hù)裝置	HMDS藥液泄漏報(bào)警裝置，HMDS低液位報(bào)警提示，超溫保護(hù)，漏電保護(hù)等。

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