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我的位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  烘箱、烤箱  >  半導(dǎo)體烘箱  >  JS-VTMS乙烯基三甲氧基硅烷涂膠機(jī) VTMS沉積系統(tǒng)
乙烯基三甲氧基硅烷涂膠機(jī) VTMS沉積系統(tǒng)

乙烯基三甲氧基硅烷涂膠機(jī) VTMS沉積系統(tǒng) 是含硅基和羥基的硅烷偶聯(lián)劑,可用于提高不同復(fù)合材料的潤(rùn)濕性和超疏水性。

  • 產(chǎn)品型號(hào):JS-VTMS
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-09-17
  • 訪  問(wèn)  量:975
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產(chǎn)品詳情

乙烯基三甲氧基硅烷涂膠機(jī) VTMS沉積系統(tǒng)應(yīng)用

   乙烯基三甲氧基硅烷(VTMS)別名:三甲氧基甲硅烷基)乙烯, 三甲氧基乙烯基硅烷, 是含硅基和羥基的硅烷偶聯(lián)劑,可用于提高不同復(fù)合材料的潤(rùn)濕性和超疏水性。VTMS可用于為TiO2、滑石、高嶺土、氧化鎂納米顆粒、磷酸銨以及PEDOT等不同材料提供超疏水性。 

  可以在各種材料表面形成均勻的潤(rùn)滑保護(hù)膜,具有防水、防油、防塵的功能。因此,它常被用作表面處理劑,在紡織、皮革、紙張、塑料、金屬等材料的加工過(guò)程中,起到改善表面性能、提高產(chǎn)品質(zhì)量的作用。 

   在材料進(jìn)行表面改性,形成防水保護(hù)層,主要用于半導(dǎo)體、光電、生物新材料等表面處理工藝、機(jī)械乳化劑、橡膠粘結(jié)劑,化工油墨分散劑等用途。

乙烯基三甲氧基硅烷涂膠機(jī) VTMS沉積系統(tǒng)性能

容量:1-12寸晶圓/方片、碎片兼容,及面板設(shè)備
材質(zhì):內(nèi)箱采用優(yōu)質(zhì)鏡面不銹鋼
使用溫度:80-1500℃ 
真空度:1000pa
人機(jī)界面:多個(gè)工藝儲(chǔ)存,一鍵運(yùn)行
VTMS控制:VTMS自動(dòng)添加
真空泵:高性能無(wú)油渦旋泵

        半導(dǎo)體設(shè)備廠商上海雋思儀器,硅烷氣相沉積設(shè)備包含增粘劑硅烷(HMDS等)、抗黏劑硅烷沉積、脫模劑硅烷(PFTS)沉積、表面改性修飾硅烷處理等,精密熱板、HMDS預(yù)處理系統(tǒng)烘箱、智能型HMDS真空預(yù)處理系統(tǒng)烘箱、MSD超低濕烘箱、無(wú)塵烘箱、潔凈烘箱,氮?dú)夂嫦洹o(wú)氧烘箱、無(wú)塵無(wú)氧烘箱、真空烘箱、真空儲(chǔ)存柜、超低溫試驗(yàn)箱、超低濕試驗(yàn)箱等環(huán)境可靠性設(shè)備。

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