表面疏水性處理設備  陶瓷玻璃疏水處理機原理

   HMDS疏水處理機通過氣相涂布硅烷偶聯劑HMDS實現陶瓷表面疏水性能的提高，陶瓷表面接觸角為118?135度，且疏水材料與陶瓷基體的的附著性能好。

表面疏水性處理設備  陶瓷玻璃疏水處理機性能

   疏水處理后可以使水滴在接觸到陶瓷纖維板表面時像荷葉上的露珠一樣迅速滑落，從而有效防止水分侵入，避免潮濕引發的短路、腐蝕等問題?。

生產工藝周期短，提高生產效率；

修飾液用量極少，節約成本90%以上；

閉環的工藝過程，安全系數高。

溫度范圍：RT+50-200℃

真空度：≤1torr

真空泵：無油渦旋真空泵

處理原理：氣相沉積

涂布氣體：硅烷偶聯劑HMDS等

工藝編輯：多個客制化工藝保存

產品兼容性：圓片及碎片、方片等

適用行業：MEMS、濾波、放大、功率等器件，晶圓、玻璃、陶瓷、貴金屬，SiC(碳化硅)、GaN(氮化鎵)、ZnO（氧化鋅）、GaO（氧化鎵）、金剛石等第三代半導體材料、醫療、電子等新材料。

上海雋思儀器專用生產服務于，硅烷氣相沉積設備、精密熱板、HMDS預處理系統烘箱、智能型HMDS真空預處理系統烘箱、MSD超低濕烘箱、無塵烘箱、潔凈烘箱，氮氣烘箱、無氧烘箱、無塵無氧烘箱、真空烘箱、真空儲存柜、超低溫試驗箱、超低濕試驗箱等環境可靠性設備。