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前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱 工業烘箱

前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱優化光刻膠的光學吸收特性,提高光刻膠對襯底的黏附性

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2025-09-17
  • 訪  問  量:1548
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產品詳情

前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱用途

  前烘可在熱烘板或氮氣烘箱中進行,本課題采用的熱風烘箱為雋思氮氣潔凈烘箱,由于在鼓風烘箱中對流烘烤將會使前烘進行的更加均勻,所以在鼓風箱中前烘的效果將會更理想。

前烘是在涂膠結束后進行,它的作用有以下幾個方面

驅趕膠中的溶劑

提高膠對襯底的黏附性

提高膠的抗腐蝕能力

優化膠的光學吸收特性

提高涂膠的均勻性

提高條寬控制能力

通過前烘,基片上的光刻膠基本固化。

前烘氮氣烘箱,硬烘潔凈烘箱性能:

潔凈度:Class100;     

溫度:RT+15~200℃;
氣體:N2 

計時功能:0-99H99M99S 

設備材質:內部SUS304不銹鋼           

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×550

(可定制)          

網板:活動式2塊

前烘氮氣烘箱,潔凈烘箱適用性:

氮氣烘箱也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫藥、實驗室等生產及科研.


真空無氧固化爐,高溫無氧烘箱技術參數
溫度范圍: RT ~300/450/550℃;
溫度波動度:≤±1

升溫速度:0-10℃/min;
降溫方式:自然降溫或風冷+水冷降溫

氮氣控制: 可調試流量計控制
氧含量檢測:201000ppm

工作尺寸:W350×H350×D400,

高溫無氧真空烘箱溫控系統:
操作界面:人機界面+PLC,可一鍵運行,多個工藝編輯;
溫度測量:K型熱偶;

控制儀表:高精度溫度控制器,PID調節,控制精度0.1℃,


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