前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱優(yōu)化光刻膠的光學(xué)吸收特性，提高光刻膠對襯底的黏附性

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廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-09-17
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產(chǎn)品詳情

前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱用途

前烘可在熱烘板或氮氣烘箱中進(jìn)行,本課題采用的熱風(fēng)烘箱為雋思氮氣潔凈烘箱，由于在鼓風(fēng)烘箱中對流烘烤將會使前烘進(jìn)行的更加均勻，所以在鼓風(fēng)箱中前烘的效果將會更理想。

前烘是在涂膠結(jié)束后進(jìn)行,它的作用有以下幾個方面

驅(qū)趕膠中的溶劑

提高膠對襯底的黏附性

提高膠的抗腐蝕能力

優(yōu)化膠的光學(xué)吸收特性

提高涂膠的均勻性

提高條寬控制能力

通過前烘，基片上的光刻膠基本固化。

前烘氮氣烘箱，硬烘潔凈烘箱性能：

潔凈度：Class100;

溫度：RT+15～200℃；
氣體：N2

計時功能：0-99H99M99S

設(shè)備材質(zhì)：內(nèi)部SUS304不銹鋼

工作尺寸（mm）：

450×450×450

500×500×550

（可定制）

網(wǎng)板：活動式2塊

前烘氮氣烘箱，潔凈烘箱適用性：

氮氣烘箱也適用于IC封裝、光刻膠固化、銀膠固化、電子液晶顯示、LCD、CMOS、MEMS、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研.

真空無氧固化爐，高溫?zé)o氧烘箱技術(shù)參數(shù)
溫度范圍： RT ～300/450/550℃；
溫度波動度：≤±1℃
升溫速度：0-10℃/min；
降溫方式：自然降溫或風(fēng)冷+水冷降溫
氮氣控制：可調(diào)試流量計控制
氧含量檢測：20～1000ppm
工作尺寸：W350×H350×D400,