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P產品分類RODUCT CATEGORY
上海百級潔凈烘箱用于精密電子元件、高溫烘烤、堅膜烘烤、半導體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測試、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求
產品型號：廠商性質：生產廠家更新時間：2025-09-17訪 問 量：2212
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上海百級潔凈烘箱：
光刻工藝的八道工序為：晶圓清洗、預烘培和底漆涂敷、光刻膠自旋涂敷、軟烘烤、對準和曝光、曝光后烘烤，以及顯影、硬烘烤和圖形檢測，然而工藝中的烘烤步驟需要百級潔凈烘箱來完成。百級潔凈烘箱也應用于精密電子元件、高溫烘烤、堅膜烘烤、半導體元件封裝、治具干燥、銀膠固化、晶圓退火、芯片高溫測試、電子陶瓷材料無塵烘干的特殊工藝要求，適用于觸摸屏、晶圓、LED、PCB板、ITO玻璃等精密電子、太陽能、新材料等行業.
上海百級潔凈烘箱技術性能：
無塵等級：Class 100;
溫度范圍： RT+20～250/ 350/500℃；
溫度均勻度：±2%℃;
溫度波動度：±1℃
溫控精度：±0.1℃;
工作尺寸：350*350*350,450*450*450*,500*500*500,600×600×500，多尺寸定制
百級潔凈烘箱操作界面
采用液晶觸摸屏溫度控制器，內置曲線查詢、
PID自整定、高溫上限報警、
運行方式：定值、程式
語言：中、英文
智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）用途：
將HMDS氣相沉積至半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍寶石、晶圓等材料表面后，經系統加溫可反應生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變為疏水，其疏水基可很好地與光刻膠結合，起著偶聯劑的作用。
智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）特點：
HMDS 藥液泄漏報警提示功能
HMDS低液位報警提示功能
工藝數據記錄功能
藥液管道預熱功能
程序鎖定保護等功能
智能型HMDS真空系統（JS-HMDS90-AI）技術性能：
1.尺寸（深*寬*高）
內腔尺寸：450×450×450（mm）（可定制）
2. 材質
外箱采用冷軋板噴塑，內箱采用 316L 醫用級不銹鋼
3.溫度范圍
RT+50-250℃
4.溫度分辨率
0.1℃
5.溫度波動度
≤±0.5
6 真空度
≤133pa（1torr）
7.電源及總功率
AC 220V±10% / 50HZ，總功率約 3.5KW
8.控制儀表
人機界面
9.擱板層數
2 層
10.HMDS控制
可控制HMDS 藥液添加量
11.真空泵
無油渦旋真空泵
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