無塵室干燥箱，試驗用百級烤箱概述

   百級潔凈烤箱也稱作無塵烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤、工裝夾具烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。

無塵室干燥箱，試驗用百級烤箱特點

Ø 在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100；

Ø 全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；

Ø 采用單面水平由后向前送風熱風循環系統，風源由循環馬達運轉帶動風輪經電熱器，將熱風由風道送至烤箱內部，且將使用后空氣吸入風道成為風源再度循環加熱，省電節能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

Ø 強制送風循環方式，雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到溫度控制精度。

技術參數

主要技術指標

Ø 無塵等級：Class 100;     

Ø 溫度范圍：RT+10～200、300℃；

Ø 溫度均勻度：±2℃;    

Ø 溫度波動度：±0.5℃；        

Ø 溫控精度：±0.1℃;

Ø 進風口：N2進氣、流量計控制;

Ø 排風口：排風管;     

Ø 電源：380v , 50Hz；

Ø保護裝置：超溫保護，漏電斷路器、控制線路保險絲裝置、 超溫保護裝置、 電熱過電流保護裝置、馬達過電流保護、 反向保護裝置、內襯防火材料、機臺異常蜂鳴器、門面安全開關。   

Ø 網板：2-5層，不銹鋼加工圓孔托盤；

Ø 潔凈度：100級的潔凈熱處理HEPA過濾器與前出風水平層對流循環方式實現并保證箱內的溫度分布的均勻性與100級潔凈度。

無氧烤箱，智能無氧烤箱

一．無氧烤箱，智能無氧烤箱概述
       無氧化烤箱在工作時，工作室內充滿了惰性氣體CO2,N2,防止材料在烘烤時被氧化。無氧烤箱箱在工業中的用途：IC包裝，LCD,晶體管，傳感器，二極管，石英晶體振蕩器，混合集成電路板等。智能無氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS標準，SEMI E37）或基于RS-232的協議與支持GEM的主機進行通信。通常這兩種協議都受支持。每臺設備都可以使用由GEM的通用SECS-II消息進行監控和控制。
      智能制造主要指生產線現場的生產過程管理、現場監控和控制等，包括智能工廠生產過程的數據采集及分析，實現生產過程、設備、資源監控的可操作和可視化；要能支持采集不同現場設備數據的要求，支持將生產數據及設備故障信息顯示在監控站的屏幕上，實現生產過程的動態監控與管理；實現智能設備、機器人和生產線、用戶全流程互聯對話，實現人機、機機互聯下的高品質、高效、柔性自動化生產等。
二．無氧烤箱，智能無氧烤箱技術參數
1、主要技術指標
Ø 含氧量：<100/50/20ppm;
Ø 溫度范圍： RT（室溫）+10～ +200/450℃；
Ø 溫度均勻度：±1℃;
Ø 溫度波動度：±0.5℃;（空載）
Ø 溫控精度：0.1℃;
Ø 烘箱擱板為活動形式;
2、箱體結構
Ø 外殼材料：優質冷軋板，表面磷化處理后平光漆
Ø 內膽材料：優質鏡面不銹鋼滿焊制作
Ø 隔  板：2-5層不銹鋼網版
Ø 保溫材料：厚度90毫米硅酸鋁保溫棉，保溫性能良好
Ø 溫控裝置：智能LED雙數顯高精度溫度控制系統，控溫精度±1℃，溫度為室溫至300℃任意調節，并具有PID自整定，自動恒溫等功能
Ø 超溫保護:獨立配置超溫保護儀，超過溫度上限，自動報警并主動切斷加熱
Ø 固態輸出：SSR無觸點繼電器模塊，靈敏度高，壽命長
Ø 測溫裝置：不銹鋼鎧甲PT100傳感器、K分度熱電偶傳感器，精確測溫，放心使用
Ø 定時裝置：高精度數顯自動定時器，0-99.99小時恒溫時間設定，可預設烘烤時間
Ø 報警系統：APT/AD16型聲光報警系統，時間到聲光報警并自動切斷加熱
Ø 電器元件：采用電器
Ø 安全裝置：漏電，短路，過載保護；鼓風電機過載缺相保護
三．無氧烤箱，智能無氧烤箱運行監控分析技術
      智能無塵烤箱運行監控分析技術，通過物聯網向制造企業提供針對產品的遠程智能服務，包括遠程監控、遠程預警、遠程維護、數據分析等。智能服務拓展到產品的全生命周期管理。產品智能化服務系統包括產品遠程監護與維護平臺、基于大數據挖掘的產品使用分析系統、智能APP自助服務系統，實現功能包括以下幾類：
●  對各類產品的多種數據進行采集、存儲；
●  及時分析用戶使用典型行為；
● 為客戶提供優化解決方案及實時監控產品使用情況的綜合服務；
● 產品智能化服務的成功應用可以大大提高工作效率，服務維護成本顯著降低，產品差異化程度提升。