HMDS鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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更新時間：2025-09-16
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HMDS鍍膜機

通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

HMDS鍍膜機

1)設備外殼采用醫用級不銹鋼304不銹鋼材質制作，內膽為不銹鋼316L材料制成；采用C型不銹鋼加熱管,均勻分布在內膽外壁，內膽內無任何電氣配件及易燃易爆裝置；采用鋼化、防雙層玻璃觀察窗,便于觀察工作室內物品實驗情況。2)箱門閉合松緊能調節，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內保持高真空度。3)采用微電腦PID控制,系統具有自動控溫,定時,超溫報警等,采用LCD液晶顯示,觸摸式按鈕,簡單易用,性能穩定.4)智能化觸摸屏控制系統配套日本三菱PLC模塊可供用戶根據不同制程條件改變程序、溫度、真空度及每一程序時間。5)HMDS氣體密閉式自動吸取添加設計，使真空箱密封性能*，確保HMDS氣體無外漏顧慮。6)整個系統采用優質醫用級316L不銹鋼材料制作，無發塵材料，適用百級光刻間凈化環境。

技術參數

1、設備名稱
2、設備型號	JS-HMDS90
3、設備主要技術參數
3.1 工作室尺寸	450×450×450（mm）可選其他數據
3.2 材質	外箱采用304不銹鋼，內箱采用316L醫用級不銹鋼
3.3 溫度范圍	RT+10-250℃
3.4 溫度分辨率	0.1℃
3.5 溫度控制精度	±0.3%
3.6 真空度	≤133pa（1torr）
3.7 潔凈度	class 100，設備采用無塵材料，適用100級光刻間凈化環境
3.8電源及總功率	AC 220V±10% / 50HZ 總功率約2.0KW
3.9 控制儀表	人機界面
3.10擱板層數	2層
3.11 HMDS流量控制	可控制HMDS流量
3.11真空泵	油泵或干泵
3.12 保護裝置	漏電保護，過熱保護

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HMDS鍍膜機通過對烘箱預處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

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